一、潔淨工程簡介 
　1.潔淨工程之沿革  
　2.潔淨標準  
　3.潔淨度與製程良率  
　4.潔淨系統型式  
　5.潔淨室之建造與運轉  
　6.污染物之移除  
　7.大型電子廠架構

二、潔淨室通風與排氣
　1.通風與排氣概說  
　2.通風效率   
　3.風車之特性   
　4.風車之串並聯   
　5.排氣系統   
　6.潔淨室常見之問題

三、製程與潔淨系統型式 
　1.半導體與TFT/LCD之特性與製程 
　2.製程內容與潔淨度 
　3.潔淨室型式 
　4.潔淨室系統架構

四、潔淨室負荷計算 
　1.外氣負荷 
　2.潔淨風量 
　3.顯熱負荷與冷卻風量 
　4.潛熱負荷與除濕風量 
　5.加濕量

五、MAU之特性與應用 
　1. MAU之元件介紹  
　2. MAU之應用  
　3. MAU之型式  
　　鼓風式與抽風式之特性比較、加濕型式不同之特性分析、不同使用場所(如寒帶地區)之因應措施 
　4. 空調箱之排水  
　5. MAU濕空氣處理技術 
　　冷卻除濕、預熱溫度之計算、預熱溫度與加濕型式之關係、降低預熱溫度之方法

六、Dry Coil與Coil Fan之特性與應用 
　1.概說  
　　Dry Coil之意義、Dry Coil之處理過程、避免Dry Coil結露之方法、Coil Fan之使用時機、潔淨室之熱源分佈及冷卻與潔淨風量  
　2. Dry Coil樣式與配管  
　3. Dry Coil與MA配置  
　4. Dry Coil結露之防止與冰水溫度之設計  
　5. Coil Fan之應用