建構半導體製程精度基礎在於對準(alignment) 與疊對(overlay) 製程需求, 前段製程設備對位技術著重於光學量測與誤差控制; 後段製程設備對位技術著重於影像處理與對位熱控制; 精密機械技術著重於精密定位與振動抑制; 結合三者長處, 發展合理成本之後段製程對位技術是本課程目地。

    從市場現況分析，國内半導體設備目前仍仰賴進口, 專利檢索從技術、功效與應用三方向分析既有半導體設備之前段後段製程相關精密對位技術發展趨勢，技術魚骨圖整理出世界專利權人技術重點，從而制定我們的技術發展策略。課程從精密定位與AOI對位技術需求講起，定位精度與整定時間要求、對位技術與6自由度關係，到次微米級設備組裝技術與限制條件，藉由振動抑制功能、精度的提昇，達到半導體設備精密定位與前後段製程對位的目標。

工研院-專業講師

Ø經歷：工研院經理、資深工程師、半導體設備廠資深技術副理
Ø專長：精密設備設計、次微米級設備、精密定位與對位

Ø著作與證照：

1.半導體設備之精密對位技術 
2.工具機高速化進給之問題與對策
3.晶圓磨床設計與實作 
4.鏡面微結構超精密加工設備技術 5.細微溝槽加工技術發展

1. 電機/電子/材料/機械/等相關背景之研發工程師、產品設計師、生產製造、品保工程師、研究員及各管理階層及相關工程師/資料分析人員。
2. 研究單位工程師、學生或對大數據分析有興趣者。

參加＜精密定位與AOI對位技術實務＞之學員，研習期滿，出席率超過80%(含)以上，且經實務討論，即可獲得工研院頒發的結業證書。

●上課日期：111/04/20~04/21(週三~四)
●上課時間：09:30~16:30，每天6小時，共計12小時
●上課地點：工研院產業學院 台中學習中心 (實際上課教室請依據上課通知函為準!)  
●上課地址：台中市大雅區中科路6號(中科_工商服務大樓4樓或9樓教室)
●上課地圖：(公設場地)http://college.itri.org.tw/img/taichung/map.html    

●交通資訊：  (台中市民-使用【悠遊卡】、【一卡通】 搭乘台中市區公車-10公里內免費) 

-可搭乘『高鐵接駁公車：161路』高鐵台中站至中科管理局工商服務大樓往返(平日/假日均行駛) 
-或搭乘『中科免費巡迴巴士(西屯線)』：統聯中港轉運站至中科管理局工商服務大樓往返(平日行駛)
-或搭乘仁友客運：45路、巨業客運：68路、台中客運：69路、統聯客運：77路/79路(平日行駛)
-中科管理局近250個地下室平面停車位，停車便利，憑『車牌辬識』入場，本單位貼心免費消磁

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●預計招生名額：20名為原則，依報名及繳費完成之順序額滿為止(本班預計10人即開課) 

●報名方式： 請點選課程頁面上方之「線上報名」按鈕進而填寫報名資訊即可。
●課程洽詢：04-25672316 / 04-25687661 陳小姐
●E-mail : itri533882@itri.org.tw  
●繳費資訊： 
(一)ATM轉帳（線上報名）：
繳費方式選擇「ATM轉帳」者，系統將給您一組轉帳帳號「銀行代號、轉帳帳號」，但此帳號只提供本課程轉帳使用, 各別學員轉帳請使用不同轉帳帳號！！轉帳後，寫上您的「公司全銜、課程名稱、姓名、聯絡電話」與「收據」傳真至04-25690361工研院產業學院 台中學習中心 收。
(二)信用卡（線上報名）：
繳費方式選「信用卡」，直到顯示「您已完成報名手續」為止，才確實完成繳費。
(三)銀行匯款(公司或個人電匯付款)：
土地銀行工研院分行，帳號156-005-00002-5（土銀代碼：005）。
戶名「財團法人工業技術研究院」，請填具「報名表」與「收據」回傳真至04-25690361工研院產業學院 台中學習中心 收。
(四)計畫代號扣款(工研院同仁)：
請從產業學院學習網直接登入工研人報名；俾利計畫代號扣款。

※繳費後請於收據上註明「公司名稱、課程訊息、姓名、聯絡電話」，傳真至產業學院 04-25690361 陳小姐 收

◆以下注意事項─敬請您的協助，謝謝!

1、課程3天前，學員將收到【E-mail上課通知】，敬請留意信件。
2、為尊重講師之智慧財產權，請勿錄影、錄音，恕無法提供課程講義電子檔。
3、請註明服務機關之完整抬頭，以利開立收據；未註明者，一律開立個人抬頭，恕不接受更換發票之要求。
4、若報名者不克參加者，可指派其他人參加，並於開課前一日通知。
5、退費辦法：學員於開訓前退訓者，將依其申請退還所繳上課費用90％，另於培訓期間若因個人因素無法繼續參與課程，將依上課未逾總時數1/3，退還所繳上課費用之50％，上課逾總時數1/3，則不退費。

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