1. 透過微影相關知識介紹，學員能將知識應用於半導體製程、先進3D IC封裝或PCB板製程連結至3D 系統封裝、TFT面板的微影製程。
2. 除了介紹微影製程外，也探討 

• 微影製程在量產時，可能遇到的瓶頸與不同製程模組搭配時，遇到的整合問題
• 晶圓上的圖案，在電性量測或光學量測的技術考量 
• 參數統計後的分析、與可靠性相關議題的連動性。

1. 微影簡介
2. 微米微影製程
3. 次微米製程 
4. 90至28奈米微影製程 
5. EUV微影製程
6. 3奈米製程下之微影趨勢
7. 晶圓圖案之統計分析與監控設計
8. 微影圖案與可靠性
9. 總結

王 教授

• 明新科技大學 電子工程學系 教授
• 學歷：美國德州農工大學電機工程博士
• 經歷：
  • 台北科技大學機電整合研究所 兼任教授
  • 大葉大學電機系專任教授
  • 聯華電子技術開發處元件部 經理 
  • 世界先進半導體技術開發處元件部資深工程師
  • 工研院/光電所 光電工程師

• 主辦單位：工研院產業學院新竹學習中心(光復院區)
• 舉辦地點：工研院 光復院區訓練教室(新竹市光復路2段321號） ※ 實際地點依上課通知為準!
• 舉辦日期：111年3月4、11日（五）09：00 – 16：00，共計12小時

課程方案	費用
全程每人	8,400
111/2/18(含) 報名全程享早鳥優惠價，每人	7,100
2人(含)以上團報優惠價，每人	7,500
會員優惠價，每人	7,900
工研人享優惠價	7,500

1.        免費加入會員，可享課程優惠。

2.        團報優惠

1. 傳真報名：請將報名表及繳費收據，傳真至：(03)5745074 黃小姐 或 洽 03-5732901 黃小姐 TristaHuang@itri.org.tw
2. 線上報名：請上產業學院學習服務網

1. 為確保您的上課權益，報名後若未收到任何回覆，敬請來電洽詢方完成報名。
2. 因課前教材、講義及餐點之準備及需為您進行退款相關事宜，若您不克前來，請於開課三日前告知，以利行政作業進行並共同愛護資源。
3. 若原報名者因故不克參加，但欲更換他人參加，敬請於開課前二日通知。
4. 學員於開訓前退訓者，將依其申請退還所繳上課費用90％，另於培訓期間若因個人因素無法繼續參與課程，將依上課未逾總時數1/3，退還所繳上課費用之50％，上課逾總時數1/3，則不退費。